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ITO芯片在LED中的应用

作者:不详来源:光电新闻网浏览:2009-03-05 13:25:49

为了提高LED芯片的出光效率,人们想了许多办法。比如,当前市场上出现了许多亮度较高的ITO芯片的LED,GaN基白光LED中如果用ITO替代Ni/Au作为P型电极芯片的亮度要比采用通用电极的芯片高20%-30%。

ITO是英文Indium Tin Oxides的缩写,意思是「氧化铟锡」。与其它透明的半导体导电薄膜相比,ITO具有良好的化学稳定性和热稳定性。对衬底具有良好的附着性和图形加工特性。

ITO为一种N型氧化物半导体,作为纳米铟锡金属氧化物,具有很好的导电性和透明性,可以切断对人体有害的电子辐射,紫外线及远红外线。因此,喷涂在玻璃,塑料及电子显示屏上后,在增强导电性和透明性的同时切断对人体有害的电子辐射及紫外、红外。ITO透明导电膜是平面显示器上重要之组件,其特性会与镀膜制程中的参数及材料有密切的关系。

在众多可作为透明电极的材料中,ITO(Indium Tin Oxide)是被最广泛应用的一种,ITO薄膜即铟锡氧化物半导体透明导电膜,通常有两个性能指针:电阻率和透光率。主要是由于ITO可同时具有低电阻率及高光穿透率的特性,符合了导电性及透光性良好的要求。在氧化物导电膜中,以掺Sn的In2O3(ITO)膜的透过率最高和导电性能最好,而且容易在酸液中蚀刻出细微的图形。

我们如果来看其穿透率,其透过率已达90%以上,ITO的透过率和阻值分别由In2O3与Sn2O3之比例来控制,通常比例是为Sn2O3:In2O3=1:9。(完)

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